레이저 충전실

 

본 연구에서는 레이저 충전 챔버 압력 제어를 통해 유사한 결과를 얻는 방법을 시연합니다. 3개의 스테이션으로 구성된 KLPV-MN(매니폴드 장착형) 압력 제어 장치는 고정된(그리고 알려진) 오리피스를 통해 3가지 가스를 제어합니다. 고정된 오리피스에 가해지는 압력을 변화시킴으로써 유량을 예측 가능하고 반복 가능한 결과로 조절할 수 있습니다. 또한, 본 응용 분야에서는 QKL 전자 압력 조절기를 사용하여 충전 챔버 내의 진공도를 정밀하게 제어함으로써 혼합 과정을 지원합니다. QKL은 진공도 제어에도 사용할 수 있습니다.

당사의 비례 압력 조절기는 높은 유량, 빠른 응답 시간 및 높은 정확도로 인해 이러한 용도에 가장 적합합니다. 당사 조절기는 2bar에서 65bar까지 0.25% FS의 정확도로 압력을 조절할 수 있습니다. (요청 시 더 높은 압력 범위로 맞춤 제작 가능)

QKL 전자식 압력 조절기는 다음 제품을 직접 대체할 수 있습니다.
프로포션 에어(QB3H, QBS, GX, QBX, QPV, QB2), 페스토(VPPM, VPPL, VPPE, VEAA, VEAB, VEMD), SMC(ITV1000, ITV2000, ITV3000), 클리파드(코디스), ASCO(센트로닉)