Kao Lu 전자 진공 조절기 저압 제어 성능 평가 시험

1. 카오루 전자 진공 조절기 소개

일부 기계식 파지 및 밀폐형 공간의 진공 압력 제어 과정에서는 진공도를 정밀하게 조정하고 일정하게 제어하기 위해 조절 밸브를 직접 사용해야 합니다. 카오루 QKL 시리즈 는 이러한 진공 조절 밸브의 일종으로, 수동으로 조작 및 조정됩니다. 공칭 진공 조정 범위는 절대 압력 1.3~100kPa(게이지 압력 -100~-1.3kPa)입니다.

카오루(Kao Lu) 전자 진공 조절기 에 대한 심층적인 이해를 돕기 위해, 본 논문에서는 이 전자 진공 조절기 의 진공도 제어 안정성에 대한 단기 평가 시험을 소개합니다.

2. 카오루의 전자식 진공 조절기 에 대해 이야기해 봅시다!

카오루 전자식 진공 조절기 의 작동 원리는 다음과 같습니다. 핸드휠을 시계 방향으로 돌리면 스프링 힘이 작용하여 다이어프램과 메인 밸브를 아래로 밀어내 VAC 측과 SET 측이 연결되고, SET 측의 진공도가 저압 방향으로 바뀝니다.

그러면 설정측의 진공 압력이 공기 통로를 통해 진공 챔버로 유입되어 다이어프램 상단에 작용하고, 설정 스프링의 압축력과 균형을 이루어 설정측의 진공 압력이 일정하게 유지됩니다. 설정측의 공기압이 설정값보다 낮으면 설정 스프링의 힘과 진공 챔버 설정측의 압력 간의 균형이 깨집니다. 이때 다이어프램이 위로 당겨지고, 메인 밸브 코어가 닫히며, 공기 흡입 밸브 코어가 열려 공기가 설정측으로 유입됩니다. 압축력과 설정측의 공기압이 균형을 이루면 설정측의 진공 압력이 일정하게 유지됩니다.

Kao Lu 전자 진공 조절기 의 공칭 진공 조정 범위는 절대 압력 1.3~100kPa(게이지 압력 -100~-1.3kPa)입니다.

3. 카오루(Kao Lu) 전자 진공 조절기 의 기능 검토

Kao Lu 전자 진공 조절기 의 성능 지표를 평가하기 위해 그림 2와 같은 평가 시험 장치를 제작했습니다. 이 장치는 주로 진공 펌프, 진공 챔버, 용량형 진공 게이지, 고정밀 데이터 수집기 및 컴퓨터로 구성됩니다. 진공 조정 범위와 제어 안정성을 정확하게 측정하기 위해 평가 시험 장치의 각 구성 요소는 다음과 같은 특징을 갖습니다.

진공 챔버는 밀폐된 챔버이므로 누출률이 매우 낮고, 진공 파이프라인에는 진공 게이지와 조절 밸브, 두 개의 인터페이스만 있습니다.
진공도 측정에는 고정밀 박막 콘덴서 진공계를 사용합니다. 모든 진공도 범위에서 정확도는 0.25%이며, 진공도 측정 범위는 1~1000Torr입니다.
정전용량 진공계의 측정 정확도를 최대한 활용하기 위해, 평가 장비에는 고정밀 데이터 수집기가 장착되어 있으며, 지원 소프트웨어를 통해 컴퓨터와 통신하여 진공 측정 곡선을 실시간으로 수집 및 표시합니다. 데이터 수집의 정확성과 속도를 동시에 확보하기 위해 샘플링 간격은 4초로 설정되었습니다.
진공 펌프 오일이 배관 및 진공 조절 밸브를 오염시키는 것을 방지하기 위해, 평가 장치에는 오염 물질의 다양성을 확보할 수 있도록 특수 건식 펌프가 장착되어 있습니다.

4. 결론

위의 단기 평가 시험 결과로부터 다음과 같은 결론을 도출할 수 있습니다.

조정 및 제어 시간은 진공 챔버의 부피에 영향을 받으며, 부피가 작을수록 진공도가 더 빨리 안정화됩니다.
Kao Lu의 전자 진공 조절기는 공칭 기술 지표인 -100kPa에 도달합니다.

자세한 내용은 카오루 웹사이트를 참조하십시오.