가스 혼합

가스 혼합은 탱크 내 질소와 헬륨 가스의 비율을 조절해야 하는 경우와 같이 많은 반도체 또는 산업 응용 분야에서 매우 중요한 공정입니다. 본 논문에서는 고정밀 가스 혼합 시스템을 구축하는 방법을 제시합니다.

비례 압력 조절기의 기능
당사의 QKL 전자 비례 압력 조절기(I/P 변환기)는 반복적인 압력 제어가 필요한 가스 혼합 용도에 적합합니다. 미리 정의된 오리피스를 통해 탱크로 주입되는 각 가스의 압력을 제어함으로써 맞춤형 혼합 가스를 얻을 수 있습니다. 이 사진에서는 두 개의 QKL 비례 압력 조절기(I/P 변환기)가 가스 혼합 용도에서 두 가지 유형의 매체의 압력을 제어하고 있습니다.

비례 유량 조절 밸브를 추가 설치
당사의 비례 압력 조절기는 비례 유량 제어 밸브와 함께 (상류에) 설치되어 유입 공기 압력을 안정화하고, 결과적으로 유량 제어 밸브 후단의 유량을 안정화할 수 있습니다. 비례 유량 제어 밸브는 가변 오리피스 역할을 하며, 비례 압력 조절기는 상류 공기 압력을 조절하고 안정화합니다.

이익
비례 압력 조절기를 사용하여 유량을 제어하면 빠른 유량 변경, 높은 정확도 및 고해상도 등 여러 가지 이점이 있습니다. 당사의 고해상도 QKL 비례 압력 조절기를 사용하면 최대 1:500의 유량 조절비를 구현할 수 있습니다.

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