MEMS 가스 질량 유량계 0-2000L/min
KMF1000 시리즈 디지털 가스 질량 유량계는 MEMS(미세전기기계시스템) 유량 감지 칩으로 제작되었으며, 깨끗하고 비교적 건조한 환경의 소량 가스 측정 및 공정 제어 등 다양한 용도에 적합합니다. 독자적인 패키징 기술을 통해 다양한 유량 측정 범위를 충족하며, 높은 감도, 신뢰성, 안정성 및 저비용을 보장합니다.
KMF1000 시리즈 디지털 가스 질량 유량계는 MEMS(미세전기기계시스템) 유량 감지 칩으로 제작되었으며, 깨끗하고 비교적 건조한 환경의 소량 가스 측정 및 공정 제어 등 다양한 용도에 적합합니다. 독자적인 패키징 기술을 통해 다양한 유량 측정 범위를 충족하며, 높은 감도, 신뢰성, 안정성 및 저비용을 보장합니다.
이 시스템은 MEMS 유량 센싱 유닛과 고정밀 디지털 처리 및 교정 회로(MCU)를 기반으로 합니다. 통합된 Δ-Σ A/D 변환기, 내부 교정 기능을 갖춘 로직 회로 및 MCU 프로세서가 함께 작동하여 센싱 신호를 실시간으로 효율적으로 획득하고 정확한 유량 신호를 얻습니다. 또한 내부에서 해당 보정 알고리즘을 처리하므로 외부 교정 및 보정이 필요 없어 고정밀 측정이 가능합니다.
| 1000 시리즈 질량 유량계 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 유형 | KMF1002 | KMF1005 | KMF1008 | KMF1019 | KMF1025 | |
| DN(mm) | 2 | 5 | 8 | 19 | 25 | |
| 유량 범위(SLPM) | 0.5-50cc | 0-25 | 0-50 | 0-250 | 0-1000 | 20-2000L |
| 공급 전력(VDC) | 7-24VDC, 50mA | |||||
| 정확성 | ±1.5% FS | |||||
| 반복성 | 0.25% | |||||
| 턴다운 비율 | 1:100 | |||||
| 응답 | 67밀리초 | |||||
| 최대 압력 | 0.5 MPa | |||||
| 시리얼 통신 | RS485(모드버스) | |||||
| 산출 | 1-5VDC | |||||
| 4-20 mA | ||||||
| 표시하다 | SLPM(순간 유량) / SL(누적 유량) | |||||
| 온도 | 10~65°C (유체) | |||||
| -25~85°C (주변 온도) | ||||||
| 습기 | <100%RH | |||||
| 무게 | 0.190kg | 0.210kg | 0.215kg | 0.220kg | 0.380kg | |
| 포트 | G1/8"-F | NPT 1/4"-F | G 3/8"-F | NPT 3/4"-M | G1"-M | |
| 구경 측정 | 공기, 20°C, 101.325kPa | |||||